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台积电在 2026 年北美技术论坛上明确表示，2029 年底之前不会将 ASML 最新 High-NA EUV 光刻机投入晶圆量产。副共同营运长张晓强直言这款设备"非常、非常昂贵"——单台售价超过 3.5 亿欧元（约 4.1 亿美元），目前的经济账算不过来。

不过台积电并非完全不碰 High-NA EUV。公司已采购极少量用于研发，但量产方面仍以现