SK hynix 清州工厂发生氢氟酸泄漏,7人送医、3600人紧急疑散

2026 年 6 月 1 日上午 10 时 32 分,SK 海力士位于韩国忠清北道清州市的第四厂区内,M15 与 M15X 晶圆厂连接的六楼气体机房突发火情,触发氢氟酸(HF)气体泄漏。自动喷淋系统随即启动,火势被迅速控制。泄漏气体浓度约 5ppm,现场 10 名工人中 5 人报告眼部刺激,附近 2 人被送医检查,共 7 人接受医疗评估。

SK hynix Cheongju plant

厂区内约 3600 名员工紧急疏散。SK 海力士启用环境净化设备开展现场处置,于当地时间 13 时 38 分完成残留气体清除工作,确认无异常后重新开放全部建筑,宣布事件处置结束。

SK 海力士声明表示,厂区设备运行一切正常,生产未因此次事故中断。公司正在调查确切原因,初步推测为气体管道问题。

历史重复

这并非 SK 海力士首次发生类似事故。2021 年其利川 M16 工厂在设备检查期间也曾发生氟化氢泄漏,造成 3 人受伤(1 人手臂和腿部烧伤,2 人吸入气体)。两次事故均涉及氟化物,集中在气体管道环节,反映出半导体工厂在危险化学气体管理上可能存在系统性隐患。

氢氟酸是半导体制造中的关键蚀刻气体,具有强腐蚀性和毒性。在密闭厂房环境中,即使是低浓度泄漏也构成健康风险。

供应链影响

当前正值全球 AI 芯片需求激增、HBM 产能紧张的关键时期,SK 海力士作为英伟达 HBM3/HBM3E 的核心供应商,其产能稳定性对整个行业至关重要。此次事故虽未造成生产中断,但五年内两次同类事故的记录,可能引发客户和投资者对安全管理的关注。

来源:Reuters / IT之家